Промывка субстрата - технологическая операция, направленная на удаление загрязнений и растворимых продуктов из материала. Обычно субстрат обрабатывают жидкостью, которая переносит примеси в растворённом виде, после чего полученные стоки отделяют. В зависимости от природы субстрата и целей промывки подбирают состав промывочной жидкости, объём и режим контакта. Промывка помогает уменьшить влияние остаточных веществ на дальнейшие процессы и стабильность материала.